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蔡司三坐標(biāo)測量機的測量過程,是由測頭通過三個坐標(biāo)軸導(dǎo)軌在三個空間方向自由移動實現(xiàn)的，在測量范圍內(nèi)可到達任意一個測點。三個軸的測量系統(tǒng)可以測出測點在X，Y，Z三個方向上的精確坐標(biāo)位置。
根據(jù)被測幾何型面上若干個測點的坐標(biāo)值即可計算出待測的幾何尺寸和形位誤差。另外，在測量工作臺上，還可以配置繞Z軸旋轉(zhuǎn)的分度轉(zhuǎn)臺和繞X軸旋轉(zhuǎn)的帶頂尖座的分度頭，以方便螺紋、齒輪、凸輪等的測量